第4章

系统初显------------------------------------------，陈远舟准时出现在**国的办公室门口。，不大，也就二十来平米，但收拾得干干净净。墙上挂着几幅字画，最显眼的是一幅"天道酬勤"，落款是个他不认识的名字。，面前堆着一摞文件，正戴着老花镜在看。，他抬起头，摘下眼镜，眯着眼睛看了看门口。"进来。"。"张叔。""坐。"**国指了指对面的椅子，"茶还是水？""白水就行。"，然后自己也坐了下来，上下打量着他。"瘦了，"他说，"也憔悴了。车祸的事，我听**说了个大概。怎么搞的？这么大人了，还不会照顾自己？""是我的错。"陈远舟低下头，"让张叔担心了。""担心你？"**国哼了一声，"我担心的是**。你要是有个三长两短，我看他这把老骨头还能不能撑住。"。"张叔，我想明白了。"
"想明白什么了？"
"芯片这件事，我还要继续做下去。"
**国看着他，没有说话。
陈远舟继续说："我知道您可能觉得我不自量力。28纳米国产光刻机，全世界能做到的也就那么几家，我一个刚毕业的小年轻，凭什么？但我想试试。"
"为什么？"**国问。
"因为这件事，总得有人做。"
**国盯着他看了很久。
然后他笑了。
"你这小子，倒是有点**年轻时候的倔劲儿。"
他从抽屉里拿出一份文件，推到陈远舟面前。
"看看吧。"
陈远舟拿起来翻了翻，是一份调研报告，标题是"关于国产半导体设备突围路径的思考"。
他快速扫了一遍，越看越心惊。
这份报告里提到的很多问题，和他脑子里2045年的解决方案竟然不谋而合。
比如报告提到，国产光刻机的最大短板在于光源和物镜系统，而报告中建议的突破方向，和他让系统分析的结果高度一致。
"您这份报告……"他抬起头，看着**国。
"是我写的。"**国说，"花了大半年时间，跑了几十家企业，找了上百个专家。你猜怎么着？"
"怎么着？"
"没人愿意做。"**国叹了口气，"我问那些企业老板，愿不愿意花五年时间、十个亿去攻关一个可能失败的项目。你猜他们怎么说？"
陈远舟没说话。
"他们说：张司长，我们是企业，要吃饭的。您说的这个方向，周期太长、风险太大，我们玩不起。"
**国摇摇头："我又去问那些科研院所的专家。他们说：方向是对的，但需要工业基础配合，我们实验室里的东西，离能用在产线上还差十万八千里。"
"两头堵，是吧？"陈远舟说。
"两头堵。"**国点头，"企业要短期回报，科研要工业验证，谁也不愿意先走一步。结果就是：原地踏步，永远被人卡脖子。"
他看着陈远舟，眼神里有一种说不清的东西。
"小陈，我今天把你叫过来，不是想听你表决心。我是问你一个问题。"
"您说。"
"如果我告诉你，有一条技术路线，可能绕过EUV光刻机的限制，在现有工业基础上做出28纳米甚至更先进的芯片，你信吗？"
陈远舟心跳加速。
"什么路线？"
"纳米压印。"**国说，"我听说你之前也研究过这个方向？"
陈远舟愣了一下。
他快速翻了翻原宿主的记忆，发现原宿主确实在白板上写过"纳米压印"这几个字，但后面的备注是"技术路线存疑，需进一步论证"。
看来**国早就盯上他了。
"这个方向，我研究过。"陈远舟斟酌着措辞，"理论上是可行的，但实际做起来，有两个大问题。"
"什么问题？"
"第一，模板加工精度不够。"
"第二，压印过程中的对准误差。"**国接过话头，"这两个问题，我也知道。问题是，怎么解决？"
陈远舟沉默了几秒钟。
他在心里问系统："能告诉他吗？"
"宿主与第三方的信息交互不在本系统的限制范围内。但建议宿主注意信息保护，避免核心技术泄露。"
陈远舟做出了决定。
"张叔，我能跟您说实话吗？"
"说。"
"我有办法解决这两个问题。"
**国愣住了。
"你说什么？"
"我说，"陈远舟看着他的眼睛，一字一句地说，"我有办法解决纳米压印光刻的核心技术瓶颈。模板加工，可以用电子束直写技术解决；对准问题，我有新的方案。"
**国盯着他看了足足有一分钟。
"小陈，"他缓缓开口，"你知道你在说什么吗？"
"我知道。"
"这两个问题，全世界那么多专家都在研究，没人能解决。你一个刚毕业两年的小年轻，说你能解决？"
"是的。"
"凭什么？"
陈远舟深吸一口气。
这个问题，他想过无数遍。
他没法告诉**国真相——他是2045年穿越回来的，脑子里装着一套超越这个时代二十年的技术系统。
但他也不能什么都不说。
"张叔，"他说，"我在英特尔的时候，参与过一个内部研究项目，关于纳米压印光刻的。当时项目是保密的，我签过保密协议，不能透露太多。但核心的技术思路，我都记在这里。"
他指了指自己的脑袋。
"这个项目后来因为经费问题被砍了，但技术积累还在。我回国之后，一直在琢磨怎么把这项技术落地。之前是我自己一个人单打独斗，资源不够，想法没法验证。但现在……"
他顿了顿。
"如果有人愿意支持我，我可以让这个技术变成现实。"
**国盯着他看了很久。
然后他站起身，走到窗边，背对着陈远舟。
"小陈，你知道麒麟计划吗？"
"麒麟计划？"陈远舟愣了一下，"没有听说过。"
"这是我们内部的项目代号。"**国转过身来，"针对半导体设备国产化，由工信部、科技部、**联合推进的专项工程。目标是五年内，实现14纳米芯片制造设备的完全国产化。"
"14纳米？"陈远舟皱起眉头，"这个目标……是不是太激进了？"
"激进？"**国苦笑，"小陈，你不知道现在外面是什么情况。**人把14纳米以下的设备全禁了，连荷兰人都开始跟着起哄。如果我们自己不搞，五年之后，国内所有的芯片厂都得关门。"
陈远舟沉默了。
他知道**国说的没错。
芯片制造是一个极其复杂的系统工程，涉及到几百种设备、几千道工序、几万个参数。任何一环被人卡住，整个产业链就瘫痪。
2024年的中国，在芯片制造领域，就像是一个被人扼住咽喉的巨人，空有一身力气，却使不出来。
"所以，"**国走回办公桌前，双手撑在桌面上，盯着陈远舟，"我需要你给我一个答案。"
"什么答案？"
"你说的那个技术路线，是真的，还是在吹牛？"
陈远舟与他对视。
"张叔，"他说，"给我一台能用的光刻机，让我看一眼，我就能告诉您，这条路能不能走通。"
三天后，陈远舟站在龙华那个破旧的厂房里。
他的面前，是一台老旧的尼康光刻机——不是他自己的，是**国帮他从**倒闭的晶圆厂里淘来的。
这台机器是1990年代的产品，曝光光源是i-line，波长365纳米，分辨率极限大概在500纳米左右。放在今天，连最低端的芯片都做不了，基本就是个废铁。
但对陈远舟来说，这足够了。
"系统，"他在意识中说，"开始全面扫描。"
"扫描启动……"
一道淡蓝色的光芒从他眼中闪过，将整台设备笼罩其中。
无数数据流在他脑海中涌现：
"检测到设备型号：Nikon i-line Stepper，型号NSR-2005i10A，制造年份1994年……"
"光源系统：汞灯，中心波长365纳米，功率1200W，当前功率衰减至设计值的67%……"
"工件台系统：气浮轴承，最大行程200mm，定位精度±0.5微米，对准精度±1微米……"
"投影物镜：折射式，NA 0.45，场曲≤2微米，当前状态：正常……"
"数据传输系统：GPI*接口，最高传输速率1M*/s，正常……"
一分钟后，扫描完成。
"扫描结果汇总……"
陈远舟的眼前出现了一张全息图，将整台光刻机的每一个部件都标注得清清楚楚。
"基于以上分析，本系统给出以下改良方案："
"方案名称：28nm纳米压印光刻机国产化改良方案"
"总体思路：保留i-line光源作为固化光源，新增纳米压印模组和电子束对准系统，实现从传统光刻到纳米压印的混合制程……"
"核心改进点：
一、新增纳米压印胶涂布模块，采用自主研发的高灵敏度紫外固化压印胶，固化时间≤3秒；
二、新增纳米级对准系统，采用散斑干涉原理，对准精度≤5纳米；
三、新增压印脱模模块，采用自适应力学控制，脱模良率≥99%；
四、新增模板制备辅助系统，结合电子束直写技术，模板精度≤10纳米。
"预计性能指标：
——制程节点：28nm
——产能：1000片/小时
——良率：≥75%
——设备成本：≤8000万元/台
"研发周期：18-24个月"
"所需核心材料清单：……"
"所需核心设备清单：……"
"所需关键技术人才清单：……"
陈远舟盯着那份方案，一个字都说不出来。
太详细了。
详细到他只需要按照这份方案按部就班地执行，就能做出28纳米的光刻机。
他想起2045年的自己，曾经参与过月球基地建设方案的设计。那份方案是上千个工程师花了三年时间才做出来的，用了最新的AI辅助设计系统，调用了人类所有的知识库。
而现在，他只需要一个念头，一份来自2045年的"超级**"，就解决了2024年困扰整个中国半导体行业几十年的难题。
"系统，"他问，"这份方案的可靠性是多少？"
"根据技术资料库的统计分析，结合当前工业基础评估，本方案的可靠性约为87%。剩余13%的风险主要来自：核心材料纯度、加工设备精度、团队经验不足等方面。"
"87%……"陈远舟喃喃自语，"比我预想的要高。"
"这是保守估计。"系统的声音响起，"如果宿主能够找到足够优秀的团队，并且获得足够的资源支持，可靠性可以提升至95%以上。"
陈远舟深吸一口气。
他看着眼前那台破旧的光刻机，忽然笑了。
"老伙计，"他拍了拍机器的外壳，"没想到吧？你还能再活一次。"
设备没有回应，只是发出一阵轻微的嗡嗡声。
但陈远舟知道，这只是开始。
从这一刻起，他的命运，和这台老旧的机器、和中国的芯片事业，彻底绑在了一起。
他掏出手机，给**国发了一条消息：
"张叔，路是通的。"
几秒钟后，**国的回复跳了出来：
"明天上午，*****。有一个重要会议，你来参加。"
陈远舟看着那条消息，心跳加速。
"什么会议？"
**国的回复很简短：
"麒麟计划启动仪式。你，是主角。"